長年培ってきたFANUC CNC制御技術と、グループ会社の加工組立技術を融合することにより高精度で高信頼性の機械を提供します。
当社の特徴は、工作機メーカーの汎用機械では対応できない特殊な加工機械のオーダーメイドです。中でも、ガラス・石英・セラミックス・シリコン・SICなど脆性材料の加工機を得意としています。
また、新規製作はもとより、お客様にてご使用の機械をレトロフィットさせていただきます。
半導体装置向けの治具は、300mmウエハ対応が主流となり、治具自体も大型化しています。
それに対応した500mm×500mmストロークの高周波加工機により高精度な穴加工を実現しています。
超音波ロータリー加工機
| 制御 | FANUC 0i-MC |
| ストローク | X：500mm Y：500mm Z：200mm |
| テーブルサイズ | 500mm×500mm |
| 位置決め精度 | ±0.01mm（実績 0.003mm） |
| 繰返し精度 | ±0.005mm（実績 0.002mm） |
| 最大速度 | 1,000mm/min |
| 難切削材に対応 セラミックス、Si、SiC、石英、ガラス、フェライト、その他 |
| 制御 | FANUC 0i-MC |
| ストローク | X：300mm Y：200mm Z：400mm |
| テーブルサイズ | 400mm×300mm |
| 位置決め精度 | ±0.01mm（実績 0.005mm） |
| 繰返し精度 | ±0.005mm（実績 0.002mm） |
| 最大速度 | 1,000mm/min |
| Z軸ロングストローク仕様、深穴加工に最適 超音波ロータリースピンドル仕様 難切削材に対応 セラミックス、Si、SiC、石英、ガラス、フェライト、その他 |
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